品牌 | HYDAC/德国贺德克 | 应用领域 | 电子,交通,冶金,汽车,电气 |
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压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条 ,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。
压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。此外,在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式压力传感器。
压阻式压力传感器灵敏度高,它的灵敏系数比金属应变片高50~100倍;频率响应快,不仅能检测靜态压力,还能检测动态压力(最高可达10kHz);易于小型化和微型化,最小的传感器可小至1.8mm,在生物学上可以测量血管内压和颅内压;测压范围很宽,可以低至10Pa的微压(用于血压测量)、高至60MPa的高压;工作可靠,测量准确度可达±().2%-±0.02%,高准确度的产品可用于大型飞机大气数据的压力检测或作为标准压力计。目前已经广泛应用于石油、化工、电气等工业领域,是一种比较理想、发展迅速、正在逐渐成为市场主流的压力传感器。
压阻式压力传感器优点:
1. 频率响应高,f0可达1.5M;
2. 体积小、耗电少;
3. 灵敏度高、精度好,可测量到0.1%的精确度;
4. 无运动部件(敏感元件与转换元件一体)。
压阻式压力传感器缺点:
1. 温度特性差;
2. 工艺复杂。
贺德克传感器常用型号:
贺德克传感器HDA 4746-A-100-000
贺德克传感器EDS 1791-N-400-000
贺德克传感器EDS 4448-0400-1-PP-000
贺德克传感器EDS3446-2-0400-000
贺德克传感器HDA3844-A-400-000
贺德克传感器HDA4745-A-160-000
贺德克传感器EDS 1791-P-040-000
贺德克传感器HDA474G-A-0006-DV-000(10m)
贺德克传感器HDA 4745-A-0600-AH1-000
贺德克传感器HDA7746-A-100-000
贺德克传感器EDS3346-3-0016-000
贺德克传感器EDS 1792-P-016-009(145PSI)
贺德克传感器ENS3216-2-0410-000-K
贺德克传感器HDA 4444-A-100-000
贺德克传感器HDA3840-A-350-124
贺德克传感器HDA4744-A-600-138(500bar)
贺德克传感器HDA 4746-A-400-031(300bar)
贺德克传感器EDS3446-3-0250-00
贺德克传感器HDA 4745-A-0600-S00
贺德克传感器HDA 4745-A-250-000
贺德克传感器EDS 348-5-400-Y00
贺德克传感器EDS344-3-250-000