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海德汉敞开式直线光栅尺系列应用

发布时间:2021-08-06   点击次数:174次

海德汉开式直线光栅尺

敞开式直线光栅尺设计用于对测量精度要求极高的机床和系统。

典型应用包括:

  • 半导体业的测量和生产设备

  • PCB电路板组装机

  • 超高精度机床

  • 高精度机床

  • 测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备

  • 直驱电机

绝对式编码器

系列说明
LICLIC敞开式直线光栅尺能够对行程达28 m和高速运动进行绝对位置测量。其尺寸和安装方式与LIDA 400相同。

输出位置值的编码器

系列说明
LIP 200LIP 211和LIP 291增量式直线光栅尺输出位置值的位置信息。正弦扫描信号在读数头中被高倍频细分且其计数功能将细分的信号转换成位置值。与所有增量式编码器一样,借助参考点确定绝对原点。

增量式编码器

系列说明
LIP

超高精度

LIP敞开式直线光栅尺拥有极小的测量步距,极高的精度和重复精度。扫描方式为干涉扫描,测量基准为DIADUR相位光栅。

LIF

高精度

LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是SUPRADUR工艺制造的玻璃基体光栅,采用干涉扫描方法。特点是精度高和重复精度高,安装特别简单,有限位开关和回零轨。特殊型号的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空环境中(参见其单独“产品信息")。

LIDA

高速运动和大测量长度

LIDA敞开式直线光栅尺特别适合运动速度达10 m/s的高速运动应用,支持多种安装方式,安装特别简单。根据相应应用要求,METALLUR光栅的基体可为钢带,玻璃或玻璃陶瓷。也有限位开关。

PP

二维坐标测量

PP二维编码器的测量基准是平面DIADUR工艺制造的相位光栅,采用干涉扫描方法。用于测量平面中位置。

LIP/LIF

高真空和超高真空技术

我们的标准编码器适用于低真空或中等真空应用。高真空或超高真空应用的光栅尺需要满足一些特殊要求。采用的设计和材质必须满足应用要求。更多信息,参见“真空中应用的直线光栅尺"产品信息。

以下敞开式直线光栅尺专用于高真空或超高真空应用环境。

• 高真空:LIP 481 V和LIF 481 V 
• 超高真空:LIP 481 U

LIC 4100

型号基线误差基体和安装方式细分误差测量长度

精度等级局部


LIC 4113
LIC 4193
± 3 μm
± 5 μm

≤ ± 0.275 μm/ 10 mm

玻璃或玻璃陶瓷光栅尺,嵌入在安装面中

± 20 nm240 mm 3040 mm
LIC 4115
LIC 4195
± 5 μm≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)钢带光栅尺穿入在铝壳中并预紧± 20 nm140 mm  28440 mm
LIC 4117
LIC 4197
± 3 μm
± 5 μm
± 15 μm
≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)钢带光栅尺穿入在铝壳中并固定± 20 nm240 mm  6040 mm
LIC 4119
LIC 4199
± 3 μm
± 15 μm
≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)钢带光栅尺粘贴在安装面上± 20 nm70 mm  1020 mm
LIC 4119 FS± 3 μm
± 15 μm
≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)钢带光栅尺粘贴在安装面上± 20 nm70 mm  1820 mm



LIC 2100

型号基线误差基体和安装方式细分误差测量长度

精度等级局部


LIC 2117
LIC 2197
± 15 μm

钢带光栅尺穿入在铝壳中并固定

± 2 μm120 mm  3020 mm
LIC 2119
LIC 2199
± 15 μm
钢带光栅尺粘贴在安装面上± 2 μm120 mm  3020 mm


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